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Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques
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TecnologíaISBN | 9783540667728
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Dettagli del prodotto
Pagine: 653 pag
Autore: S. J. Pearton, R.J. Shul
Editore: Springer
ISBN: 9783540667728
Formato: tapa dura
Lingua: en
Data di pubblicazione: 1/10/2000
ISBN: 9783540667728
Sinossi di Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques
El 'Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques' es una guía exhaustiva sobre las técnicas avanzadas de procesamiento de plasma. Publicado en octubre de 2000, este libro de tapa dura de 653 páginas explora las aplicaciones industriales de las descargas luminiscentes y el plasma etching. Cubre temas como la física del plasma, la ciencia de los materiales y la ingeniería mecánica, ofreciendo una visión profunda del diseño y la construcción de circuitos integrados y la ingeniería de plasma.
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